上海微电子中标1.1亿元光刻机项目,上海微电子 光刻机 进展

IT之家 12 月 25 日消息,据中国政府采购网今日公示,上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称“上海微电子”)中标 zycgr22011903 采购步进扫描式光刻机项目,设备数量为一台,成交金额 1.1 亿元


成交公告显示,中标供应商名称为上海微电子装备(集团)股份有限公司,供应商地址为上海市张江高科技园区张东路 1525 号。中标货物名称为步进扫描式光刻机,货物型号为 SSC800/10。


公开资料显示,上海微电子成立于 2002 年,主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD 面板、MEMS、LED、Power Devices 等制造领域。


IT之家查询发现,上海微电子官网列出了 SSB300、SSB500 系列步进光刻机。



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